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QFL200C系列气浮运动台
QFL200C系列气浮运动台应用于精密加工,测试测量,印刷、扫描、半导体及光子学等行业。
产品特点
<< 闭式气浮结构
<< 光栅尺闭环反馈
<< 高直线度平面度指标
<< 纳米级微动步距
<< 密封罩防尘装置
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背景介绍

QFL200C系列是目前国内性能卓越的气浮直线台,特殊的密封罩设计,行程可达1米。我司通过多年的行业经验,搭配国际上先进的控制系统,应用于精密加工,测试测量,印刷、扫描、半导体及光子学等行业。

非接触式结构

QFL200C系列采用非接触式气浮轴承、非接触式直线电机驱动和非接触式反馈装置,确保了在使用时免维护运行,因为运动元件间没有机械接触,随着时间的推移,QFL200C不会出现磨损或性能下降,使用寿命几乎是无限的,气浮轴承不需要润滑,只需要清洁及干燥的气体,是用户应用的理想选择。

高精度指标

气浮导轨基于气体动静压效应,实现无摩擦和无振动的平滑移动,与摩擦式导轨相比,气浮直线台的直线度、平面度,Pitch/Roll/Yaw指标得到了很大的提高,同时由于非接触式,伺服反馈的跟随误差有了质的飞跃,定位精度和重复精度得到了显著提高。

密封防尘

气浮运动台含密封防尘罩,特殊的结构设计,使摩擦力降到最低,不影响精度性能,应用于精密加工、激光加工等行业。

定制化

可定制大理石或碳化硅材质的气浮导轨,提升精度性能,行程也可接受定制。